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玻璃参数及性能
玻璃厚度
0.2mm~1.1mm
表面粗糙度
＜5nm
光透视比τ vD65 in%
92%
平均线性热膨胀系数n（静态测量)
8.49(20°C-300°C/10 -6 K -1 )
转变温度 Tg
455℃
1MHz下介电常数 ε r
6.5
折射率 n
1.515
密度ρ(40°C/h下退火)
2.37 g/cm 3
可供晶圆尺寸
2"方片、6"、8"圆片
损耗角正切tgδ/介质损耗
6.5×10 -3 （1Mhz）
8.4×10 -3 （1Ghz）
10.9×10 -3 （5Ghz）
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