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玻璃参数及性能
玻璃厚度
0.2mm~1.1mm
表面粗糙度
＜1.5nm
光透视比τvD65in%
91.00%
平均线性热膨胀系数n（静态测量)
0.55(20°C-300°C/10-6K-1)
转变温度 Tg
1120℃
1MHz下介电常数εr
3.8
折射率 n
1.4584
密度ρ(40°C/h下退火)
2.20 g/cm3
可供晶圆尺寸
2"方片、6"、8"圆片
损耗角正切tgδ/介质损耗
3×10-4（20Ghz）
2×10-4（10Ghz）
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