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无碱玻璃


无碱玻璃.png

玻璃参数及性能

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

<1nm

光透视比τvD65in%

91.9%

平均线性热膨胀系数n(静态测量)

3.2(20°C-300°C/10-6K-1)

转变温度 Tg

717

1MHz下介电常数εr

5.1

折射率 n

1.5099

密度ρ(40°C/h下退火)

2.43 g/cm3

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

4.9×10-3(5Ghz)

3.5×10-3(1Ghz)

2.8×10-3(1MGhz)




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