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（1）激光诱导
适用于多种材质，包括石英玻璃、无碱玻璃、高硼硅玻璃、普通玻璃、光敏玻璃等
厚度50~2000μm，最大尺寸可支持8寸晶圆
（2）湿法腐蚀
腐蚀孔径10~500μm（特殊尺寸可定制）
深径比 ≤ 20:1
通孔陡直度≥88°
腐蚀最大支持8寸玻璃晶圆
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